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中國氯化氫技術的領導者

返回  打印  發布時間:2012-5-5 點擊:9719

      北京華宇同方化工科技開發有限公司是1999年注冊于北京中關村高科技園區的高新科技企業,其目的是推廣應用本公司發明的十余項國內外授權專利。目前推廣的主要新產品有,高

純氯化氫和沸石催化劑;主要新技術有催化精餾技術和芳烴烷基化工藝。本公司生產的沸石催化劑是種錄色環保產品,達到國際先進水平,已成功的應用于國內大型石化企業,具有顯著的

經濟效益和社會效益。本公司生產的高純氯化氫的性能指標與國外同類產品相當,填補了我國電子級氯化氫產品生產的空白,目前已廣泛應用于集成電路芯片制造業、硬質合金制造業、醫

藥化工制造業,并批量遠銷于韓國及東南亞一帶。本公司的特點是產品質量高,價格低,售后服務好。

      本公司具有較強的技術開發力量,現有教授4人,高級工程師5人,其他工程技術人員10人。建有設備完善的中心實驗室,高純氯化氫生產基地,沸石催化劑生產基地。分別負責技術

開發、氯化氫和催化劑的生產。根據市場需求,氯化氫設備的現有生產能力為100噸/年。

      5N電子級氯化氫產品的純度高達99.999%,總雜質含量小于5ppm,符合企業標準Q/HDHYF001-2003。它是單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝的重要輔助材料。尤其其中水

及有機物的含量對單晶硅片的精密加工和芯片的壽命具有極大影響。本公司生產的5N電子級氯化氫產品的露點小于-80℃,水含量小于0.5ppm。有機物為輕烴類,THC<0.5ppm,且不含一氧

化碳、二氧化碳等有害雜質。就此而言,本公司的產品遠優于國外同類產品的性能,尤其優于國內分裝產品。

      本公司生產電子級氯化氫所采用的原料為石化產品的副產品,其特點是水含量很低,便于提純加工,對所需設備的材質要求不高。但其中含有難以脫除的乙炔氣,這就需要特種性能

的催化劑。本公司在催化劑及催化技術開發方面具有獨特的技術。經5年的努力,開發出適用的催化劑,它可使氯化氫中1000ppm的乙炔經反應下降至0.1ppm以下。從而保證了氯化氫中的THC

<0.4ppm。另外,本公司氯化氫的生產工藝采用了高效填料及特殊結構的精餾塔,并采用了具有特色的鋼瓶處理方法,保證了瓶裝產品的水含量小于0.5ppm。使得本公司產品的質量大大優

于國外同類產品的質量。同時,本公司獲得了"一種制備電子級氯化氫的方法"的授權專利,具有自主知識產權。瓶裝產品經國家標準物質研究中心和信息產業部專用材料質量監督檢測中心

抽樣檢驗,純度大于99.999%,雜質總含量小于5ppm。2003年10月通過北京市科委科技成果技術鑒定。會議認為,本工藝采用特效催化反應、高效精餾和特種裝置設備等技術研制出電子級氯

化氫產品。技術路線科學、合理、先進,工藝參數穩定;原料來源充足,供應可靠,生產線裝置運行連續穩定,符合環保要求;產品主要技術指標具有可靠的檢測手段;產品主要性能指標

與國外同類產品相當,填補了我國電子級氯化氫產品生產的空白,實現了電子級氯化氫產品的國產化。這對我國新興電子產業制造業及其相關行業的發展具有較大的社會意義和經濟意義。

兩年多來,經國內外多家用戶在單晶硅片氣相拋光、基座腐蝕和硬質合金鍍膜工藝中使用證明,本公司產品的技術性能及其產品的規格性能均與國外產品相當。

      近幾年,本公司在降低水含量方面采取了一系列措施。經分析發現,精餾塔采出產品的水含量小于0.3ppm,但罐裝于鋼瓶內的產品水含量則可達0.7ppm,甚至更高。究其原因在于產

品罐裝過程中鋼瓶更換以及鋼瓶處理時引入的空氣水。這種水附著在管壁上,難以用抽空的方法徹底排除。為此,首先采用了本公司發明的專利截止閥,保證更換鋼瓶時匯流排及其連接軟

管不與大氣相通;其次在鋼瓶選用、瓶閥結構及鋼瓶處理上采取了嚴格而特殊的措施,盡可能降低鋼瓶殘留水的影響,保證了瓶裝產品的水含量小于0.5ppm。

      目前,國內應用的5N電子級氯化氫產品主要由美國道化學公司提供,經由國內外幾家氣體經銷商分裝后供應市場,主要性能指標如下:

純度:99.999%;

雜質含量:N2≤2.0ppm,O2≤1.0ppm,H2O≤1.0ppm,CO≤1.0ppm,

CO2≤2.0ppm,THC≤1.0ppm。

目前,本公司批量供應市場的氯化氫產品有如下四種:

(1) 5.0 N,純度>99.999%;  (2) 4.8 N,純度>99.998%;

(3) 3.0 N,純度>99.9%;    (4) 2.8N,純度>99.8%。

      本公司氯化氫產品采用氯化氫專用鋼瓶(符合國標GB5099或DOT 3AA標準)包裝,有25kg、27kg兩種規格,應用316L不銹鋼抗腐蝕隔膜式瓶閥,CGA330標準接口。

      本公司尚可為客戶提供各種型號規格的氯化氫專用減壓器、調節閥、截止閥以及成套氯化氫供氣裝置。

      2001年全公司各產品通過ISO9001:2000質量管理體系認證,保證了產品質量的連續穩定和持續改進。

      本公司秉承"誠信為本、顧客至上"的經營理念,堅持"科學經營、安全經營、合法經營"的經營方針,以科技領先和強化管理為手段,鍛造技術一流、人才一流、質量一流、服務一流

的科技開發公司。

 

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