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電子級氯化氫的制備與分析各方法
鹽酸脫析法是將濃鹽酸置于脫析塔鐘加熱脫析制備氯化氫氣體,在七十年代末期發(fā)展出來的。然后,經(jīng)過一系列的常溫、低溫干燥、吸附除水以及二氧化碳,壓縮至1.2Mpa,進行低溫精餾,再經(jīng)過低溫吸附除去氮后壓縮至4.2Mpa,然后再進行裝瓶。
發(fā)生法是在七十年代以前,電子工業(yè)用高純度氯化氫的制備一直是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中,將其中的水吸收掉,使得過飽和的氯化氫氣體析出。到了七十年代到八十年代初期,制備方法發(fā)展到用濃硫酸與焙烘干的食鹽反應(yīng),生成高純度的氯化氫氣體,再用壓縮機壓入鋼瓶中。
合成法用氯和氫在合成爐中進行燃燒反應(yīng)生成氯化氫氣體是八十年代初為適應(yīng)我國電子工業(yè)的迅速發(fā)展而提出的,在技術(shù)上較為先進,由合成爐出來的氯化氫氣體經(jīng)常溫、低溫干燥和吸附凈化,在低溫、低壓下冷凝,排除不凝氣體雜質(zhì),以液態(tài)裝瓶。氯、氫合成中,氫過量5%左右,氯化氫氣體中含氫高,以間歇精餾裝置除氫。此外,原料氫是經(jīng)鈀膜擴散提純,生產(chǎn)規(guī)模受到一定限制。
發(fā)生法以及脫析法生產(chǎn)規(guī)模較大。
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