本實用新型供給一種氯化氫氣體枯燥設(shè)備，其包羅塔體，塔體頂部設(shè)有氯化氫氣體出口，底部設(shè)有氯硅烷液體出口，塔體上還設(shè)有氯化氫氣體進口、氯硅烷液體進口、以及冷媒進口和冷媒出口，氯化氫氣體進口處裝設(shè)有管道，所述管道在塔體內(nèi)向下延伸，冷媒進口和冷媒出口設(shè)于塔體下部，冷媒進口和冷媒出口之間經(jīng)過內(nèi)盤管連通。本實用新型含水氯化氫經(jīng)氯化氫氣體進口與氯硅烷液體進口噴入的氯硅烷充沛觸摸，使水分反響生成氯化氫。該設(shè)備布局簡略、成本低、便于出產(chǎn)施行，且可以到達脫水深度需求，將氯硅烷別離可得到純潔的氯化氫氣體。