本實用新型供給一種氯化氫氣體枯燥設備，其包羅塔體，塔體頂部設有氯化氫氣體出口，底部設有氯硅烷液體出口，塔體上還設有氯化氫氣體進口、氯硅烷液體進口、以及冷媒進口和冷媒出口，氯化氫氣體進口處裝設有管道，所述管道在塔體內向下延伸，冷媒進口和冷媒出口設于塔體下部，冷媒進口和冷媒出口之間經過內盤管連通。本實用新型含水氯化氫經氯化氫氣體進口與氯硅烷液體進口噴入的氯硅烷充沛觸摸，使水分反響生成氯化氫。該設備布局簡略、成本低、便于出產施行，且可以到達脫水深度需求，將氯硅烷別離可得到純潔的氯化氫氣體。