氯化氫氣體作為氯化物生產中的重要原材料，在三氯化氫硅的生產中也不例外。那么，以氯化氫作為重要合成劑的三氯氫硅都有哪些特殊性質呢？

    三氯氫硅別名為硅氯仿、硅仿、三氯硅烷；英文名：Trichlorosilane、Silicochloroform．三氯氫硅沸點為31.8℃，熔點為-126.5℃，自燃溫度為185℃，在空氣密度為1時，蒸汽相對密度為4.7，在空氣中爆炸極限為1.2~90.5%(體積分數)。主要用途為單晶硅原料、外延成長、硅液、硅油、化學氣相淀積、硅酮化合物制造、電子氣。

    主要制備方法：(1)在高溫下Si和氯化氫反應。(2)用氫還原四氯化硅(采用含鋁化合物的催化劑)。 

    三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動易揮發的無色透明液體。在空氣中極易燃燒，在-18℃以下也有著火的危險，遇明火則強烈燃燒，燃燒時發出紅色火焰和白色煙，生成SiO2、氯化氫氣體和Cl2。

    在化學性質這方面，氯化氫氣體和三氯氫硅有很多的共同點，都是危險性極強的，所以在運輸儲備過程中需要特別注意安全防護。